Система плазменной очистки и травления
Машина плазменной десмиризации
Оборудование плазменного травления
Характеристики
| №. | Параметр | Технические параметры | |
| 1 | Габаритные размеры (Д × Ш × В), mm | 1860×1470×2000 мм | |
| 2 | Масса оборудования (kg)) | 2550 кг | |
| 3 | Источник питания | 3PH-AC380V+N+PE, 50/60Hz | |
| 4 | Автоматический выключатель/главный выключатель, A | 40 А | |
| 5 | Общая мощность оборудования | 30 кВт | |
| 6 | Мощность и частота РЧ-источника питания | 10 кВт @ 40 кГц | |
| 7 | Распределение электродов | Вертикальное расположение, каждый электрод охлаждается независимо | |
| 8 | Количество электродов | 16 шт. | |
| 9 | Регулятор расхода | Warwick | |
| 10 | Стандартная конфигурация 3-ходового газа | Один канал 2000 sccm, два канала 5000 sccm | |
| 11 | Программная система управления | Китайский и английский интерфейс | |
| 12 | Марка вакуумной системы насоса | Edwards | |
| 13 | Источник питания РЧ | AE | |
| 14 | Производительность откачки | 1160 м³/ч производительность откачки 1160 м³/ч | |
| 15 | Рабочее давление вакуума | Рабочее давление при расходе кислорода 2,0-2,5 л/мин, регулируемый диапазон 180-300 мТорр | |
| 16 | Максимальный размер производственной платы | 27×44 дюйма (22×27 дюймов 30 штук/печь)) | |
| 17 | Стандартная толщина производственной платы | 0,03-9 мм (для тонких плат ниже 0,5 мм требуется специальное приспособление для мягких плат)) | |
| 18 | Минимальный размер производственной платы | 4×4 дюйма | |