Полностью автоматический LDI
Автоматическая система LDI
Автоматическое лазерное прямое экспонирование
Характеристики
| №. | Параметр | Технические параметры | |
| 1 | Габаритные размеры (Д × Ш × В), mm | 7009×3120×2200 мм (Д×Ш×В)） | |
| 2 | Масса оборудования (kg)) | 2 комплекта LDI 4,5Т/комплект, автоматическая линия 1,5т | |
| 3 | Источник питания | 380В AC 50Гц | |
| 4 | Максимальное потребление энергии, kW | 47 кВт | |
| 5 | Эффективный диапазон обработки, mm | Мин:300×300 мм Макс:630×730 мм | |
| 6 | Толщина обработки, mm | 0,05 мм (без учёта толщины меди)–3,5 мм (с медью)) | |
| 7 | Производительность оборудования | 7-7,5 пан/мин (622×546 мм; доза экспонирования сухой плёнки ≤50 мДж/см²; четырёхточечное выравнивание)) | |
| 8 | Точность выравнивания внешних слоёв | ±±12 мкм | |
| 9 | Равномерность критических размеров | ±10% | |
| 10 | Разрешающая способность | 55/55 мкм (предельное разрешение 35/35 мкм) Допуск: ±10%% | |