Отдельная машина LDI внутреннего слоя
Машина LDI внутреннего слоя
Высокоскоростное лазерное прямое экспонирование внутреннего слоя
Характеристики
| №. | Параметр | Технические параметры | |
| 1 | Габаритные размеры (Д × Ш × В), mm | 3000×1912×1798 мм (Д×Ш×В)） | |
| 2 | Масса оборудования (kg)) | LDI 4.5T | |
| 3 | Источник питания | 380В AC 50Гц | |
| 4 | Максимальное потребление энергии, kW | 15 кВт | |
| 5 | Эффективный диапазон обработки, mm | Мин:250×300 мм Макс:630×810 мм | |
| 6 | Толщина обработки, mm | 0,05 мм (без учёта толщины меди)–5 мм (с медью)) | |
| 7 | Производительность оборудования | 3 пан./мин (622×546 мм; доза экспонирования сухой плёнки ≤50 мДж/см²; четырёхточечное выравнивание, верхние и нижние платы ≤ 5 с)) | |
| 8 | Точность выравнивания внешних слоёв | ±±12 мкм | |
| 9 | Точность выравнивания внутренних слоёв | 24 мкм | |
| 10 | Равномерность размеров | ±10% | |
| 11 | Разрешающая способность | 55/55 мкм (предельное разрешение 35/35 мкм) Допуск: ±10%% | |